박막을 측정할수 있는 장비의 장단점

1. 박막을 평가하는 일반적인 방법들

  -. XPS, FTIR, ATIR, Auger, SIMS등

   장점: 정확한 데이터를 산출

   단점:  장비의 가격이 고가

               한번 분석하려면 많은 시간과 돈이든다.

 고가 장비를 관리해야 하는 막중한 책임 장비를 운영함에 있어서 많은

 지식이 필요하고, 진공상태에서 운영되는 장비의 경우 폴리머 박막에서

               이물질이 떨어져 나와 문제를 일으키기도 합니다. 

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